什么是濺射靶材?
2023-11-28
?在濺射靶材的應(yīng)用領(lǐng)域,半導(dǎo)體芯片對(duì)濺射靶材的金屬材料純度和內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)設(shè)定了極其苛刻的標(biāo)準(zhǔn),需要掌握生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵技術(shù),經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期實(shí)踐才能生產(chǎn)出符合工藝要求的產(chǎn)品。因此,半導(dǎo)體芯片對(duì)濺射靶材的要求高,價(jià)格與半導(dǎo)體芯片相比,飛機(jī)顯示器和太陽(yáng)能電池對(duì)濺射靶材的純度和技術(shù)要求略低,但隨著靶材尺寸的增加,對(duì)濺射靶材的焊接結(jié)合率和平整度提出了更高的要求。此外,濺射靶材需要安裝在濺射機(jī)臺(tái)內(nèi)完成濺射過(guò)程,濺射機(jī)臺(tái)專用性強(qiáng),對(duì)濺射靶材的形狀、尺寸和精度也設(shè)定了諸多限制。?
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